真空镀膜硬度（柔性基底真空镀膜设备简介）

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1、中文名：柔性基底真空镀膜设备申请人：米亚索乐装备集成（福建）有限公司申请日：2017年12月6日申请号：201721681092X公布号：CN207525334U公布日：2018年6月22日发明人：孙红霞、周阳、江湖、胡超、舒毅、朱朋建、陈凡、潘登、龙巍地址：福建省泉州市鲤城区高新区紫山路42号Int.Cl.：C23C14/56(2006.01)I、C23C14/35(2006.01)I代理机构：北京维澳专利代理有限公司代理人：王立民、解立艳类别：实用新型发明专利《柔性基底真空镀膜设备》是米亚索乐装备集成（福建）有限公司于2017年12月6日申请的专利，该专利的公布号为CN207525334U，授权公布日为2018年6月22日，发明人是孙红霞、周阳、江湖、胡超、舒毅、朱朋建、陈凡、潘登、龙巍。

2、[2-3]《柔性基底真空镀膜设备》包括连接在一起的真空镀膜腔室（1）和过渡腔室（2），二者通过狭缝连通，还包括散热辊（3），所述散热辊（3）通过张力调节装置（4）安装在所述过渡腔室（2）内；所述散热辊（3）包括辊体（5）和转轴（6），所述辊体（5）固定安装在所述转轴（6）上，二者同轴设置；所述辊体（5）上设有若干个沿其轴向布置的散热通道（7）。

3、该实用新型具有良好的散热功能，可以有效防止柔性基底褶皱。

4、2020年7月14日，《柔性基底真空镀膜设备》获得第二十一届中国专利奖优秀奖。

5、（概述图为《柔性基底真空镀膜设备》摘要附图）。

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